9月13日,第三屆“科學探索獎”獲獎名單正式揭曉,50位青年科學家“榜上有名”。歐美同學會第八屆理事會理事、華中科技大學歐美同學會秘書長陳蓉教授獲獎,是本次獲獎的8位女性科研工作者之一。

陳蓉

陳蓉,教授、博士生導師,華中科技大學柔性電子研究中心副主任、機械科學與工程學院院長助理、光學與電子信息學院雙聘教授、中國科學院寧波材料技術與工程研究所客聘研究員。畢業于中國科學技術大學,獲學士學位,留學美國斯坦福大學(Stanford University),獲碩士、博士學位?;貒皳蚊绹⑻貭栄芯吭焊呒壯芯繂T。國家創新領軍人才、國家高層次海外引才計劃、教育部新世紀優秀人才支持計劃入選者。

陳蓉的研究方向圍繞選擇性原子層沉積方法、納米顆粒改性、薄膜工藝與設備開發、柔性光電器件制備等展開,主持了國家自然科學基金重點項目、國家重大科學研究計劃(973)青年科學家項目、湖北省創新群體等多個國家及省部級科研項目。先后榮獲美國得州儀器微電子領域女性領袖獎、美國半導體研究協會Simon Karecki獎、中國僑界“創新人才”貢獻獎,日內瓦國際發明展評審團特別嘉許金獎、金獎,湖北省技術發明一等獎等十余項國內外獎項。

據組委會介紹,陳蓉的獲獎理由是肯定她在原子制造高精度定位、一致性和高效率方面取得的成果,支持她在集成電路先進制程的原子尺度協同制造方向進行探索。

“科學探索獎”于2018年設立,三年來共評選出150位獲獎人。作為科學家主導的公益項目,獎項秉持面向未來、獎勵潛力、鼓勵探索三大宗旨,鼓勵青年科技人才探索基礎科學和前沿技術的“無人區”,探索社會支持基礎研究人才持續穩定的投入機制。

從硅谷回到光谷,她看好武漢的未來

陳蓉曾在美國硅谷求學和工作十多年,2011年選擇回到家鄉武漢,進入華中科技大學。她告訴記者,心中從未斷過的“親情溶于水的家國情結”讓她堅定地做出這個決定。

“作為湖北武漢人,返回祖國,回到我的家鄉武漢,有一種踏實的歸屬感和幸福感?!标惾卣f,武漢承載著中部地區崛起、長江中游城市群協同發展、建設國家自主創新示范區等重大戰略任務。武漢作為國家科技創新中心,科教基礎雄厚,華中科技大學機械科學與工程學院更有著獨特的學科優勢和辦學風格,這讓她毫不猶豫選擇“從硅谷回到光谷”。

陳蓉在實驗室工作

回國后,陳蓉十分忙碌,但她欣慰于學生的進步、城市的進步。2011年回國時,國內在ALD(原子層沉積)制造上相對空白。加入華中科大機械學院后,她有了一群非常能干的學生,他們一起科研攻關,不僅完成交叉學科融合的蛻變,形成自己的特色,更產生國際影響。

“比起美國成熟的體系,中國在加速器的研發上,變化天天可見。讓我特別自豪的是,經過這些年的發展,我們已經代表中國在國際標委會提出原子層沉積技術標準,并組織各個國家的專家一起推進?!?/p>

研究成果或突破集成電路制造技術難題

陳蓉的研究方向是“選擇性原子層沉積技術”,她被看作這項技術的開拓者。這種技術突破傳統的“自上而下”的光刻-刻蝕等減材策略,另辟蹊徑以原子或分子為基本搭建“積木”單元,實現“自下而上”的目標結構制造,通俗地講即是以原子或分子為“磚”來蓋納米結構的“大廈”。

全球原子層沉積技術主要用于集成電路制造,并拓展到光伏、顯示等半導體或泛半導體領域以及航空航天、能源環保等新興領域?;谠訉映练e技術的一系列原創成果,填補了國內技術空白,相關研究與國際上處于齊頭并進的態勢。

陳蓉在實驗室工作

陳蓉介紹,目前“選擇性原子層沉積技術”在發光顯示等領域已經取得示范應用,有望推動微納制造領域深層次變革,突破集成電路制造中的瓶頸技術,對于解決芯片制造的卡脖子難題,爭取和提升集成電路制造的國際競爭力和話語權,具有十分重要的意義。

陳蓉團隊的科研成果受到臺積電、三星、IMEC等業內頂尖企業的高度評價:選擇性沉積方法被認為是先進節點中的使能技術。

該技術“產學研用”轉化已在光谷啟動

“制造的核心和內涵,是要服務支柱行業,面向國家重大需求和國民經濟主戰場?!标惾亟榻B說,目前,團隊的研究工作有很大一部分與光電器件等緊密結合,這也是武漢光谷的重要產業。

陳蓉表示,光谷有一大批“芯屏網端”的高新技術企業和聯盟,如國家三維集成創新中心、武漢新芯、華星光電、京東方等。在各級政府大力支持下,高校開展基礎研究,企業開展技術孵化,有利于促進該技術盡快實現“產學研用”的轉化,搶占科技發展制高點。目前,課題組已經與國家三維集成創新中心和部分芯片、存儲、顯示行業的高新科技企業開展了相關合作研究。

這次獲獎后的獎金會怎么用?陳蓉坦言,300萬元獎金不算小數目,尤其對青年科研工作者。這樣的安排,對于青年科學家是充分的信任和激勵?!袄硐氲目蒲袪顟B,是能夠體面地、心無旁騖地做自己最擅長、最有激情的創新,不必為了經費去奔波。我會利用獎金來支持課題組創新創業,讓我們的研究取得更大的突破?!?/p>